アライメントステージSA
IKOアライメントステージSA･･･DE は、直動案内部にIKO CルーブリニアウェイL、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクト・ドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな、XYθ運動を実現するアライメントステージです。
アライメントステージSA･･･DE は、高分解能リニアスケールと、フルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定器や検査装置などの位置決め機構として最適です。
製品特長
リニアモータ駆動のX、Y軸は、分解能 0.1μmと0.5μmの2種類をラインナップ。用途に合わせて最適な選択ができます。
アライメントステージSA･･･DEは、直線案内部にリニアウェイLとリニアモータ駆動を採用した可動テーブルをニ軸直交に組み合わせたXY軸と、回転案内部のθ軸にクロスローラベアリングとダイレクトドライブモータを採用し、XYθ運動を実現する低断面でコンパクトなアライメントステージです。
高分解能リニアエンコーダとフルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
さらに、直線移動用のX軸可動テーブルと、回転位置決め部であるθ軸ターンテーブルを標準化しているので、X軸とθ軸の組み合わせや、XY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。
アライメントステージSA･･･DEは、直線案内部にリニアウェイLとリニアモータ駆動を採用した可動テーブルをニ軸直交に組み合わせたXY軸と、回転案内部のθ軸にクロスローラベアリングとダイレクトドライブモータを採用し、XYθ運動を実現する低断面でコンパクトなアライメントステージです。
高分解能リニアエンコーダとフルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
さらに、直線移動用のX軸可動テーブルと、回転位置決め部であるθ軸ターンテーブルを標準化しているので、X軸とθ軸の組み合わせや、XY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。
ラインナップ
掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。
