仕様｜アライメントステージSA･･･DE｜MECHATRONICS専用サイト

仕様

SA-DEの各仕様の性能を下表に示します。

仕様・性能

項目		呼び番号
項目		SA65DE/1X	SA65DE/5X	SA120DE/1X	SA120DE/5X	SA200DE/1X	SA200DE/5X
最大推力（1）	N	25		70		400(250)(8)
定格推力（2）	N	3.5		15（7）		70
有効ストローク長さ	mm	10		20		20
最大可搬質量	Kg	2.4		5.9		30.0(20.0)(8)
分解能	μm	0.1	0.5	0.1	0.5	0.1	0.5
最高速度(3)(4)	mm/s	270	500	270	800	270	800
繰返し位置決め精度(5)	μm	±0.5
可動部質量	Kg	0.17		1.2		3.4
総質量(6)	Kg	0.35		2.5		7.2
使用周囲温度・湿度		0～40°C・20～80％ RH（結露しないこと）

注(1)	最大推力の持続時間は最大1秒です。
(2)	周囲温度20°C、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
(3)	表示の速度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。
(4)	使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
(5)	製品本体の温度が一定の場合です。
(6)	コードの質量は含んでいません。
(7)	定格推力は、有効ストローク範囲内に適用します。
(8)	（　）内の値はADVA-R5ML ドライバと組み合わせた場合です。

仕様・性能

項目		呼び番号
項目		SA65DE/S	SA120DE/S	SA200DE/S
最大トルク（1）	N・m	0.5	2.0	8.0(6.0)(7)
定格トルク（2）	N・m	0.06	0.4	2.0
最大可搬質量	Kg	2.2	6.8	21.2(17.1)(7)
有効動作角度	度	50	60	280
分解能	秒	0.64	0.36	0.25
分解能	pulse/度	5625	10000	14400
最高速度(3)(4)	度/s	720	400	270
繰返し位置決め精度(5)	秒	±1.3	±0.8	±0.5
可動部慣性モーメント	kg・m2	0.00012	0.002	0.013
総質量(6)	kg	0.5	2	6.0
使用周囲温度・湿度		0～40°C・20～80％RH（結露しないこと）

注(1)	最大トルクの持続時間は最大1秒です。
(2)	周囲温度20°C、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
(3)	表示の速度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。
(4)	使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
(5)	製品本体の温度が一定の場合です。
(6)	コードの質量は含んでいません。
(7)	（　）内の値はADVA-R5ML ドライバと組み合わせた場合です。

製品に関するお問い合わせ

掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。

SA特長

IKOアライメントステージSA･･･DE は、直動案内部にIKO CルーブリニアウェイL、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクト・ドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな、XYθ運動を実現するアライメントステージです。アライメントステージSA･･･DE は、高分解能リニアスケールと、フルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定器や検査装置などの位置決め機構として最適です。