SA特長
IKOアライメントステージSA･･･DE は、直動案内部にIKO CルーブリニアウェイL、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクト・ドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな、XYθ運動を実現するアライメントステージです。
アライメントステージSA･･･DE は、高分解能リニアスケールと、フルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定器や検査装置などの位置決め機構として最適です。
