精密昇降テーブルTZ
IKO精密昇降テーブルTZは、くさび機構を利用して、上下方向の精密位置決めを行うための昇降テーブルです。くさび機構には、各種産業機械で高い実績のあるIKO リニアウェイの技術をそのまま活用することで、高い精度と剛性をコンパクトなサイズで実現しています。高い精度を必要とする、半導体・液晶関連製造装置・光関連装置に最適です。
製品特長
- 高精度・高剛性
- くさび機構の案内部にローラタイプの直動案内機器CルーブリニアローラウェイスーパーXを2本並列に配置し、高精度な位置決めと1ランク上の剛性を実現しています。
- 高い位置決め精度
- リニアエンコーダによるフルクローズドループ制御を行うことで、さらに高い位置決め精度を実現します。
- メンテナンスフリー
- 直動案内機器とボールねじに潤滑部品Cルーブを内蔵することで、長期メンテナンスフリーを実現しています。
- 2つの減速比をシリーズ化
- くさび減速比1:2、1:4の2種類をシリーズ化。用途に応じてスロトーク長さと分解能を選択できます。また最大ストローク24mmの上下方向の位置決めが可能です。
- センサ標準装備
- リミットセンサ、原点・原点前センサを標準装備。センサを本体内部にコンパクトに内蔵しているので、機械・装置への組込みが容易です。
ラインナップ
| 形式 | テーブルの大きさ [mm] |
案内形式 | くさび減速比 | ストローク長さ [mm] |
|---|---|---|---|---|
| TZ 120X-2 | □120 | ローラタイプ | 1：2 | 10 |
| TZ 120X-4 | 1：4 | 5 | ||
| TZ 200H-2 | □200 | ボールタイプ | 1：2 | 24 |
| TZ 200H-4 | 1：4 | 12 | ||
| TZ 200X-2 | ローラタイプ | 1：2 | 24 | |
| TZ 200X-4 | 1：4 | 12 |
掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。
