回転ステージSK…W
SK…Wは、ウォームギア機構を採用した無限回転ステージです。IKOクロスローラベアリングを回転案内部に採用し、直接テーブルとすることで高精度な回転振れ、高剛性、低断面を実現しています。
製品特長
高精度
回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現しています。
低断面、高剛性
回転案内部にあらゆる方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラベアリングを採用。更にクロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現しています。
設計工数削減
テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けることが可能です。機構部品を使用して一から回転テーブルの設計をする手間を削減できます。
諸特性・精度
| 動作角度範囲(1)〔度〕 | 360 |
|---|---|
| 分解能(2)〔秒〕 | 1.08 |
| テーブルの最高回転数〔min-1〕 | 5 |
| ウォーム軸の最高回転数〔min-1〕 | 600 |
| モーメント剛性〔秒/N・cm〕 | 0.04 |
| 耐荷重(3)(4)〔N〕 | 50 |
- 注(1)リミットセンサなし仕様のときの値を示します。リミットセンサ付き仕様では320 度までの範囲で任意の角度に調整が可能です。
- (2)モータの分割数設定が 10000pulse/rev の場合の値を示します。
- (3)機能上及び性能上支障なく使用することができる最大荷重を示します。
- (4)搭載質量の重心位置は、テーブルまたは上面テーブルの外径より内側になるように配置してください。
| 位置決め精度〔秒〕 | 21.6 |
|---|---|
| 繰返し位置決め精度〔秒〕 | ± 7.2 |
| ロストモーション〔秒〕 | 32.4 |
| バックラッシ〔秒〕 | 32.4 |
| 取付面に対するテーブル上面の平行度〔μm〕 | 20(40) |
| テーブル内径のラジアル振れ量〔μm〕 | 5(15) |
| テーブル上面の振れ量〔μm〕 | 5(25) |
- 備考（ ）内はリミットセンサ付き仕様の場合を示します。
センサ仕様
SK…Wには原点用センサ（オムロン（株）製E2S-W13B 1M)が標準装備されています。
原点用センサ位置とテーブル取付け穴との位置関係に精度規定はありませんので、原点復帰位置の微調整については、上位コントローラによるオフセット調整をご使用ください。リミットセンサ付き仕様の場合、リミットセンサ（オムロン（株）製E2S-W14 1M）と上面テーブルが追加されます。リミットセンサドグは位置調整が可能です。320度までの動作範囲を任意の位置で設定することができます。
リミットセンサ付き仕様
- ※リミットセンサ付き仕様の場合、原点用センサドグの位置はカバーを外した状態で確認ください。
- ※リミットセンサドグ調整後はカバーが取り外せませんので、取付面に本製品のベースを固定し、カバーを取付けた後にリミットセンサドグの位置調整を行ってください。
リミットセンサなし仕様
- ※カバーの切り欠きから原点用センサの位置を確認することができます。
掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。
