얼라이먼트 모듈AM
IKO얼라인먼트 모듈AM은 정밀 위치결정 테이블TU와 고강성형 크로스롤러베어링, 리니어웨이E를 조합하여 얼라인먼트 스테이지용으로 개발된 위치결정 모듈입니다. 높이 치수의 허용차를 ±10μm로 고정밀도 관리하고 있으므로 각 얼라인먼트 모듈의 높이를 조정하지 않고도 얼라인먼트 스테이지를 구성할 수 있습니다.
제품 특징
- 동작을 실현하는 위치결정 모듈
- 위치결정 테이블TU를 기반으로 고강성형 크로스롤러베어링과 리니어웨이를 조합하여 얼라인먼트 스테이지용으로 개발된 위치결정 모듈입니다.
- 높이 조정 불필요
- 높이 치수의 허용차를 ±10μm로 고정밀도 관리하고 있습니다. 각 얼라인먼트 모듈AM의 높이를 조정하지 않고도 얼라인먼트 스테이지를 구성할 수 있습니다.
- 용도에 맞는 스테이지를 자유롭게 설계 가능
- 다양한 스테이지와 기반으로 얼라인먼트 모듈AM을 조합하여 용도에 맞는 얼라인먼트 스테이지를 자유롭게 설계할 수 있습니다.
얼라인먼트 스테이지의 구성 예와 동작 원리
제품구성
얼라인먼트 모듈AM
형상 |
형식 |
크기 |
스트로크 (mm) |
반복 위치결정 정밀도 (mm) |
W×L×H(mm) |
||||
AM25 |
86×130×47 |
30 |
±0.002 |
|
AM40 |
120×180×78 |
30 |
±0.002 |
|
AM60 |
220×290×110 |
90 |
±0.002 |
|
AM86 |
350×390×148 |
120 |
±0.002 |
|
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