나노리니어 NT･･･H

IKO나노 리니어는 강제의 가동 테이블 부분에 마그넷과 광학식 리니어 엔코더용 스케일, 강제 베드에 고정자 코일, 리니어 엔코더 용 베드 등을 배치한 무빙 마그넷 방식의 리니어 모터 테이블 입니다.
테이블 안내부에는 소형 직동안내기기 분야에서 정평이 있는IKO 크로스롤러웨이를 사용하고 리니어 모터와 고분해능 리니어 엔코더를 조합시켜 더욱 고정밀도인 위치결정이 실현됩니다.
고성능 네오디늄 자석을 채용해서 보다 큰 추력을 얻을 수 있기 때문에 매우 작지만 고속, 고응답인 위치결정이 가능합니다. 또한, 케이블 없이 획기적인 구동방식을 채용해서 기계적으로 접촉하는 부분은 LM 가이드 뿐이기 때문에 높은 클린도를 실현합니다.
나노 리니어는 반도체, 액정관련제조장치나 크리린 환경이 요구되는 검사장치나 전자부품 조합장치등의 콤팩트한 위치결정기구로서 최적입니다.