AM 특징
IKO얼라인먼트 모듈AM은 정밀 위치결정 테이블TU와 고강성형 크로스롤러베어링, 리니어웨이E를 조합하여 얼라인먼트 스테이지용으로 개발된 위치결정 모듈입니다. 높이 치수의 허용차를 ±10μm로 고정밀도 관리하고 있으므로 각 얼라인먼트 모듈의 높이를 조정하지 않고도 얼라인먼트 스테이지를 구성할 수 있습니다.
IKO얼라인먼트 모듈AM은 정밀 위치결정 테이블TU와 고강성형 크로스롤러베어링, 리니어웨이E를 조합하여 얼라인먼트 스테이지용으로 개발된 위치결정 모듈입니다. 높이 치수의 허용차를 ±10μm로 고정밀도 관리하고 있으므로 각 얼라인먼트 모듈의 높이를 조정하지 않고도 얼라인먼트 스테이지를 구성할 수 있습니다.