寸法図

AM86の寸法図になります。

モータアタッチメントなし・ボールねじ付き

ボールねじなし

掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。

AM特長

IKOアライメントモジュールAMは、精密位置決めテーブルTUと、高剛性形クロスローラベアリング、リニアウェイEを組み合せて、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。 高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しているので、各アライメントモジュールの高さ調整をする事なくアライメントステージを構成できます。

その他の製品

リニアモータ駆動タイプ
直線
  • 直線
  • 高精度
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直線
  • 直線
  • 超高精度
  • 高剛性

ナノリニアⓇNT･･･H
直線
  • 直線
  • 高精度
  • 薄型
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直線
  • 直線
  • 高精度
  • 高速稼働
  • 薄型
  • ピック&プレイス

ナノリニアⓇNT･･･XZH
直線
  • 直線
  • 高推力
  • 高速稼働
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リニアモータテーブルLT
直線 / 回転
アライメント
  • 直線
  • 回転
  • アライメント
  • 高精度
  • 薄型

アライメントステージSA

ボールねじ駆動タイプ
直線
  • 直線
  • 高剛性
  • 高速稼働
  • ロングストローク

精密位置決めテーブルTU
直線
  • 直線
  • 軽量
  • 高速稼働
  • コストパフォーマンス

精密位置決めテーブルTE
直線
  • 直線
  • 軽量
  • クリーン

クリーン精密位置決めテーブルTC
直線
  • 直線
  • 軽量
  • コンパクト

マイクロ精密位置決めテーブルTM
直線
  • 直線
  • 高精度
  • 高剛性
  • 高負荷容量

精密位置決めテーブルTS・CT
直線
  • 直線
  • 軽量
  • ロングストローク

精密位置決めテーブルL
直線
  • 直線
  • 高精度
  • 高剛性
  • 高負荷容量

精密位置決めテーブルLH
直線
  • 直線
  • 超高精度
  • 超高剛性
  • 超高負荷容量

高精密位置決めテーブルTX
回転
アライメント
  • 回転
  • アライメント
  • 高精度

アライメントテーブルAT
直線 / 回転
アライメント
  • 直線
  • 回転
  • アライメント
  • 高剛性

アライメントモジュールAM
昇降
  • 昇降
  • 高精度
  • 高剛性

精密昇降テーブルTZ

ウォームギア駆動タイプ
回転
  • 回転
  • 高剛性

回転ステージSK･･･W

タイミングベルト駆動タイプ
直線
  • 直線
  • 高速稼働
  • ロングストローク

精密位置決めテーブルLB
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